•반도체처럼 미세 회로를 다루는 산업에서는 입자 하나가 불량으로 이어지므로 공정관리가 클린룸(청정실) 안에서 이뤄진다. 클린룸은 0.1~10μm 크기의 입자 농도를 통제하며 팬필터유닛(FFU)으로 공기를 순환·여과하고 온습도·압력을 ISO 14644 등급에 맞춰 관리한다 . 반도체 제조는 산화·포토·식각·증착·이온주입·금속배선·검사(EDS)·패키징의 8대 공정으로 구성되는데, 국내 소재 국산화율은 약 70%인 반면 첨단 장비는 30% 수준에 그쳐 공정·장비를 다루는 인력의 역할이 크다 . 최근 공정관리의 핵심은 측정 데이터를 해석해 공정 조건을 평가·최적화함으로써 양산 효율과 품질을 끌어올리는 일로 옮겨가고 있다 . 디스플레이도 LCD는 TFT·컬러필터·셀·모듈, OLED는 유기물 증착·박막 봉지 등 다단계 공정으로 제조돼 단계마다 정밀한 공정관리가 품질을 좌우한다 . 전공정(FEOL)에서는 노광·식각·증착·이온주입으로 회로를 형성하고 후공정(BEOL)에서는 구리 배선과 화학기계연마(CMP)로 마무리하는데, 각 단계의 공정 조건 관리가 곧 수율로 이어진다 .