주요 업무
수행 직무
- ▶ 배관부(각종 유틸리티를 연결하는 용도)와 진동 방지대 등을 준비하며, 이때 반도체 장비를 설치하는 환경을 고려해 고객사 장비기술자와 협의한다.
- ▶ 평가 장소나 생산 장소에 반도체장비의 소재·부품·장치·모듈 등을 입고하고 나면, 개별 부품의 목록·수량·기능 등을 점검한다.
- ▶ 장비 설치 도면에 따라 유틸리티를 연결한 뒤 초순수·불활성 가스·전기 등의 유틸리티를 공급하고, 그다음 각종 배관 연결부에 누수가 있는지 점검해 조치한다.
- ▶ 시스템 입출력 동작을 점검하고 개선하는 일은 설계연구원(장비소프트웨어 담당)과 함께 하며, 로봇·모터·센서 등의 동작과 위치는 교정한다.
- ▶ 화학약품·공정가스 등의 유틸리티를 공급하는 한편, 누수 여부를 점검해 조치한다.
- ▶ 각 모듈별로, 그리고 장비 전체에 대해 기구동작과 성능평가를 시험하고 개선 조치를 한다.
- ▶ 장비신뢰성 평가·개선·인증 활동은 고객 요구수준을 기준 삼아 장비공정 연구원과 함께 수행한다. 최종 설치결과를 정리해 보고서로 작성하는 것을 지원하고, 공정신뢰성의 평가·개선·인증도 지원한다.
- ▶ 고객 측 소자제조원과 공정·장비 기술자가 소재·부품·시설·장치·장비 기술과 관련된 교육을 받도록 지원한다.
- ▶ 반도체 생산의 정상상태 유지를 위해, 일·주·월·분기·반기·년 단위로 정해진 사전예방점검 항목에 맞춘 개선·부품교체·점검 활동을 지원한다.
- ▶ 장비 이상상황이 발생하면 고객사의 장비기술자에게 알린 뒤, 생산 운영을 멈추게 한 상태에서 단시간 안에 문제를 해결하는 조치를 해 생산 운영이 정상적으로 되도록 한다. 조치한 뒤에는 원인분석·예방조치 보고서를 작성해 공유한다.