주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체금속막증착장비기술자는 PVD(물리기상증착)·CVD(화학기상증착)·ALD(원자층증착) 장비의 일상 운용을 담당한다.
- ▶ 공정 레시피 로딩, 기판 로딩·언로딩, 챔버 상태 모니터링, 공정 중 이상 신호 감지·대응이 주요 일과다.
- ▶ 챔버 클리닝, 타겟·히터·가스라인 부품 교체, 진공 펌프 점검 등 예방보전과 고장 수리를 수행하며, 공정 엔지니어 지시에 따라 레시피 파라미터를 조정한다.