주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체금속막증착공정기술자는 PVD(스퍼터링), CVD(화학기상증착), ALD(원자층증착) 장비를 운용하여 금속 박막을 웨이퍼에 형성한다.
- ▶ 박막 두께·균일도·비저항·접착력 등 공정 품질 지표를 측정하고 타겟 스펙을 벗어난 경우 원인을 분석하여 공정 조건(압력·온도·가스 유량·RF 파워 등)을 조정한다.
- ▶ 국내외 소재·부품 공급사가 제공하는 타겟재·전구체·가스 등 원자재를 주기적으로 평가하며, 장비 예방 정비(PM) 및 소모품 교체 절차를 수행한다.