주요 업무
수행 직무
- ▶ 각 장치와 모듈별로 상세사양을 정하고, 장비공정연구원과 함께 구상한 기초설계를 기준으로 하여 장비의 주요 기능을 정의하며, 상세사양을 정한 다음에는 장치, 부분품, 부품, 재료 등에서 최적의 것을 선정한다.
- ▶ 상세사양에 따라 선정된 장치, 부분품, 부품, 재료 가운데 유체·진동·열 및 광역학 해석을 요하는 부품을 분류하고, 각 부품특성에 맞는 해석프로그램을 선정한 다음 그 해석프로그램을 실행한다.
- ▶ 부품적합성 여부는 각 부품별 해석결과로 판단하며, 부품재선정과 해석작업을 되풀이하는 것을 수단으로 최종사양을 결정한다.
- ▶ 상세설계는 기구와 유틸리티에 관련된 부품을 대상으로 최종사양에 맞춰 진행하고, 도면은 그 상세설계를 진행해서 작성한다.
- ▶ 설계개선 지원은 고객사 현장평가, 시험성능평가, 장비 조립 과정에서 발견되는 기구설계 오류의 분석을 통해 이루어진다.
- ▶ 단독 또는 공동으로 연구·개발활동을 수행하는데, 그 활동은 다양한 부분품·재료·부품·장치 및 장비기술에 대해 시험평가하고 최적화하는 것이며, 국내외 제조업체·연구기관·세미나·학회에서 획득한 정보와 제품이 그 기반이다.
- ▶ 장비조립의 편이성 및 제조원가 절감, 또 공정·장비 신뢰성을 보증해 주는 재료와 부품, 그리고 부분품, 장치 및 장비기술이 반도체장비 개발과정에서의 연구·개발 대상이다.