주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체광학재료공정연구원은 포토레지스트·반사방지막·광학박막 등 리소그래피 관련 소재를 연구·개발하는 역할을 담당한다.
- ▶ 극자외선(EUV)·ArF·KrF 파장대 노광 공정에 적합한 광학 소재의 분자구조 설계, 합성 조건 최적화, 공정 적합성 평가가 주요 업무다.
- ▶ 고객사(반도체 팹) 생산라인에 소재를 도입하기 전 스핀코팅·현상·베이크 등 적용 공정을 시뮬레이션하고 이상결함 원인을 분석하여 소재 조성을 개선한다.
- ▶ 소재의 열안정성·접착력·패턴 붕괴 저항성 등 물리화학적 특성을 국가 표준 측정법에 준거하여 평가한다.