주요 업무
수행 직무
- ▶ 에칭(Etching)·텍스처링을 거친 웨이퍼는 P-N 접합을 목적으로 이동시킨다. 화학적 부식작용을 활용하는 가공법을 에칭이라고 한다.
- ▶ 장비로 투입하는 것은 웨이퍼를 담고 있는 카세트이다.
- ▶ 필요한 정보의 입력을 마치면 작업을 개시하는데, 정보는 컴퓨터가 가진 오퍼레이션 파라미터에 입력한다.
- ▶ SiO₂ 막을 실리콘 웨이퍼 표면에 입힌다. 목적으로는 표면에서의 반사 방지막 역할, 전기적 절연, 표면 보호·안정화, 확산 공정에서의 보호막 등이 있다.
- ▶ 실리콘 웨이퍼 내부로 N형 불순물과 P형 불순물을 주입하는 일과 함께, 캐리어타입·저항률을 정확히 정하는 일도 한다.
- ▶ 도핑 농도는 저항을 측정하는 방법으로 관리한다.
- ▶ 완료된 카세트를 수거한 다음, 공정(표면층 에칭이 목적)으로 옮긴다.