•CVD 장비는 반도체 전공정에서 활용 비율이 가장 높은 단일 공정 장비군으로, 가스 시스템·진공 챔버·RF 전원·온도 제어부가 통합된 복합 시스템이다. LPCVD는 낮은 압력과 고온(약 1000°C)으로 우수한 단차피복성을 제공하지만 처리 속도가 느리며, PECVD는 플라즈마로 저온 증착을 구현해 열 민감 소자에 활용된다. HDPCVD는 고진공·저온·고균일성의 장점을 모두 갖추어 극미세 갭필에 쓰이나 증착·식각 사이클을 반복해야 한다. 주성엔지니어링은 하나의 챔버에서 웨이퍼 5~6장을 동시 처리하는 SDP(Spatial Deposition Platform) 방식으로 장비 생산성을 높였다. 원익IPS는 3년 연구개발 끝에 메탈 CVD 'NOA' 장비를 개발해 SK하이닉스 M15 공장에 양산 납품하고 삼성전자 화성·평택 라인에도 도입 테스트를 진행했다. 국산 CVD 장비 기술은 도쿄일렉트론(TEL) 등 외국 과점 구도를 무너뜨리는 전략 자산으로 평가받는다. ALD는 웨이퍼 표면에서만 반응해 박막 두께를 정교하게 제어하는 점에서 CVD와 구분되며, 주성엔지니어링은 박막 재료 분사에 시간차를 두는 '시공간분할' 기술을 세계 최초로 개발했다.