주요 업무
수행 직무
- ▶ 장비의 전체구성과 세부구성을 기구설계연구원(반도체장비)과 함께 기획한다. 이송 모듈, 절단 모듈, 후세정 모듈에는 각각 목표성능을 정한다.
- ▶ 핵심요소기술의 기초 공정성능평가는 시험장비를 설치한 다음 진행한다. 평가는 단독 방식이나 종합 방식 중 하나로 한다.
- ▶ 기초평가 결과에서 개선 대상 부품·장치를 고른다. 선정 후 신규부품·장치개발을 담당 기구설계연구원에게 요청한다.
- ▶ 고객이 제시한 공정성능목표와 장비성능목표에 도달할 때까지 앞의 과정을 반복하여 칩절단장비를 개발한다.
- ▶ 칩절단장비의 기획 결과와 제작 결과, 시험평가 결과는 고객에게 지속해서 알린다. 이를 바탕으로 고객사 생산라인에서 진행할 공정 신뢰성과 장비 신뢰성의 평가계약이 맺어지도록 유도한다.
- ▶ 고객과 맺은 계약을 기준으로 칩절단장비 인증을 위한 종합품질·생산성 검증평가를 실시한다. 평가 후 인증을 획득한다.
- ▶ 다양한 절단 소재·부품·장치·장비·공정기술의 시험평가에는 국내외 학회·세미나·연구기관·제조업체에서 확보한 정보·제품을 활용한다. 평가 대상 최적화의 연구·개발은 단독으로 하거나 공동으로 한다.
- ▶ 소재·부품·장치·장비·공정기술은 칩절단장비를 개발하는 동안 연구·개발한다. 경쟁사 대비 비교우위와 반도체 생산라인 기준의 공정 및 장비 신뢰성 목표달성을 함께 고려한다.