주요 업무
수행 직무
- ▶ 이송·연삭·후세정 모듈을 대상으로 전체 구성과 세부 구성을 기획하는 한편, 모듈마다 목표성능을 정의한다. 이 과정의 협업 상대는 반도체장비 분야의 기구설계연구원이다.
- ▶ 기초 공정성능평가의 시작 시점은 시험장비를 설치한 뒤다. 핵심요소기술을 중심으로 평가하며, 단독 방식 또는 종합 방식 가운데 하나로 진행한다.
- ▶ 기초평가 결과에서 개선 대상인 부품·장치를 선정한다. 그다음 신규부품과 장치의 개발을 담당 기구설계연구원에게 요청한다.
- ▶ 고객이 정한 공정 및 장비성능목표에 이를 때까지 앞의 과정을 반복하며 기판연삭장비를 개발한다.
- ▶ 고객과 지속해서 공유하는 대상은 기판연삭장비의 기획 결과와 제작 결과, 시험평가 결과다. 이 활동으로 고객사 생산라인의 공정·장비 신뢰성 평가계약을 이끌어 낸다.
- ▶ 종합품질과 생산성에 관한 검증평가는 고객과 맺은 계약을 기준으로 실시한다. 평가를 마친 다음 기판연삭장비 인증을 획득한다.
- ▶ 국내외 학회와 세미나, 연구기관과 제조업체에서 연삭 관련 정보·제품을 얻는다. 이를 바탕으로 소재·부품·장치·장비·공정기술을 혼자 또는 공동으로 시험평가·최적화하고 연구·개발한다.
- ▶ 소재·부품·장치·장비·공정기술을 연구·개발할 때 경쟁사 대비 비교우위와 반도체 생산라인 기준의 공정·장비 신뢰성 목표달성을 고려한다. 이 업무는 기판연삭장비 개발 과정에서 이뤄진다.