주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체장비 기구·소프트웨어설계연구원과 함께 이송, 공정, 냉각부 각각의 목표성능을 정의하고, 전체 및 세부구성을 기획한다.
- ▶ 시험장비의 설치 후, 핵심요소기술 중심으로 단독 또는 종합적으로 기초 공정성능평가를 진행한다.
- ▶ 기초평가를 통해 개선이 필요한 부품 및 장치를 선정하여 담당 기구설계연구원에게 신규부품 및 장치개발을 요청한다.
- ▶ 이러한 과정을 반복 진행하여 최적의 공정·장비기술을 개발하며, 장비 레시피 최적화와 APC(자동 공정 제어) 알고리즘 개발을 통해 수율과 생산성을 높이는 업무를 수행한다.
- ▶ 공정 파트에서는 플라즈마 조건 최적화, 식각률·선택비·균일도 등 핵심 지표 데이터를 분석하며, 장비 파트에서는 챔버 내부 소모품 교체, 장비 유지보수, 이상 징후 원인 파악 업무를 담당한다.
- ▶ 다양한 팀(기구설계, 소프트웨어, 품질)과 협업하는 경우가 많으므로 데이터 분석력과 소통 역량이 중요하다.