주요 업무
수행 직무
- ▶ 소자공정 연구원과 협력하여 차세대 반도체 소자 배선구조에 최적화된 세정 공정 목표를 수립하고 연구·개발 활동을 수행한다.
- ▶ 사진현상·식각·이온주입·박막·확산·연마 공정 연구원과 긴밀한 공동연구를 통해 최적의 세정 공정 특성을 규명한다.
- ▶ RCA 세정(SC1·SC2), 오존 세정, 플라즈마 세정, 초임계 세정 등 다양한 세정 기술을 실험적으로 비교·평가하여 새로운 세정 솔루션을 도출한다.
- ▶ 국내외 학회·세미나·연구기관·제조업체에서 획득한 최신 기술 동향을 연구에 반영하고, 연구 결과를 논문 및 특허로 성과화한다.