주요 업무
수행 직무
- ▶ 반도체 포토 공정 연구원은 새로운 반도체 공정 노드(예: 3nm·2nm)에서의 포토리소그래피 레시피를 개발하고 최적화하는 연구를 수행한다.
- ▶ EUV·ArF 노광 장비 파라미터와 포토레지스트 조건을 실험적으로 검증하며, 선폭(CD) 균일도·오버레이 정밀도·결함 밀도를 개선하는 기술을 연구한다.
- ▶ 마스크 설계와 광근접 효과 보정(OPC) 기법을 검토하고, 공정 마진을 분석하여 양산 이관 가능성을 평가한다.
- ▶ 국내외 장비 업체·재료사와 협력하여 신규 포토레지스트 및 현상액 재료의 공정 적용 가능성을 평가한다.